無室 (CLEAN ROOM) 基本懅念

一、何為無室 (Clean Room)

    無室又稱清淨室或嶲淨室,將室內之空氣做溫度、濕度、氣體流、氣═庢L粒子之控制,並配合室內之照明及不發之建材合成一體,稱之為清淨室(Clean Room)

、無室氣流方式之比較:

 


 

垂直層流方式

水平層流方式

非層流方式

遂道方式

清淨度

1~100

100

1,000~100,000

1~100

生產時清淨度

作業者的影響少

上流的發對下流有影響

作業者的影響大

作業者的影響最少

設想費

運費

生產配置變更

容易

困難

容易

困難

增設

困難

困難

比較容易

比較容易

 

三、無室工程例

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